未命名
School of Microelectronics
and Solid-State Electronics
第三章 多指标问题及正交表在试验设计中的灵活运用
Ø配方的添加剂参数
–氯化钠:    20~25g/l
–柠檬酸钠:  3~4gl
–糖精钠:   3g/l
–“791”光亮剂:  4~6g/l
–十二烷基苯磺酸钠: 0.05~0.1g/l
–柠檬酸:适量
Ø电沉积工艺
–阳极面积(Ni∶Fe): 4∶1
–阴极与阳极面积比:Cu∶Fe∶Ni为1∶2∶8
–温度:50~55℃
–时间:50min