School of Microelectronics
and Solid-State Electronics
第三章
多指标问题及正交表在试验设计中的灵活运用
Ø
根据正交设计法
:
对配方选取六因素五水平的正交
试验表
,
实验以
电沉积速度
和
合金镀层光亮度
为指标
。
Ø
Ni
—
Fe
合金镀层的外观采用
目测评分方法
来检测
,
其标准定为
:
Ø
灰黑
(
黑点
)
4
-
发灰
(
麻点
)
5
-
不光亮
(
针孔
)
6
-
较光亮
7
-
光亮
8
-
准镜面
9
-
镜面
10
