本课程从设备结构及其工作原理、单项工艺方法、工艺集成技术、工艺流程等方面，介绍集成电路芯片的制造工艺原理，使学生了解集成电路芯片是如何制造出来的，加深对器件结构和集成电路的理解，为掌握微电子器件和集成电路的设计打下良好的基础。

    通过本课程的学习使学生了解集成电路产业状况及技术发展动态；理解集成电路制造的先进工艺技术；掌握氧化、光刻、刻蚀、扩散、离子注入、沉积等各种单项工艺技术的基本原理、方法和主要特点；掌握工艺集成的特点以及集成电路制造的基本工艺流程。